發(fā)布時(shí)間:2020-02-24 來源:原創(chuàng)
一、測量精確度“納米邵氏A型”
得益于最佳化的測試系統(tǒng),1.4.1至1.4.7節(jié)中提到的精度公差被最小化。關(guān)于第1.4.5條規(guī)定的測量,小于±0.1邵氏An值的超高測量精度是可實(shí)現(xiàn)的。
測量過程中,應(yīng)對測量裝置上的樣品的垂直運(yùn)動(dòng)進(jìn)行控制和校正。傾斜的運(yùn)動(dòng)將會(huì)導(dǎo)致測量誤差。
與提到的標(biāo)準(zhǔn)邵氏A測量相比,為了得到完全相同的評估時(shí)間和壓入條件,下降速度應(yīng)為50mm/min。
二、壁厚小于0.5 mm的測量
對于測量和驗(yàn)證非常薄的厚度為50μm的零件和涂層,可以減小壓入深度和測量力值。標(biāo)準(zhǔn)測量里的最大深度為268.3μm,可以減少10%的增量,達(dá)26.83μm。
因此,層厚為50μm是可以測量的。盡管該結(jié)果并不符合邵氏A的特征。通過邵氏標(biāo)準(zhǔn)測量方法,與降低壓入深度測量后的對比測量,測量結(jié)果可以追
溯到邵氏A值。由于壓入路徑為總壓入路徑的10%,因此分辨率降低了10倍。